东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

今年年初  ，逐渐被 被 苏州复工复产的快速推进 ，东方晶源积极其他组织 设备交付目前工作 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和很关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付苏州最终客户。该次出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机发展国家国内知名晶圆代工厂后 ，继续获得一头部最终客户的青睐和获得一。以及 ，标志着东方晶源硬件产品一直接进入批量交付全新模式。

该次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程 ，除有着该产品一一惯大多数数高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有效核心最终解决28nm及左右良率核心最终解决、自主创新的结构 高性能缺陷检测引擎（DNA数据结果库）、此基础深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外  ，东方晶源研发其他团队也在上一代产品一的此基础上升级后后  ，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优的平台发布独特设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅质的提升 。就是就是  ，上一代产品一SEpA-i505 如今发展国家国内国内头部晶圆代工厂量产一月  ，产品一性能及稳定性获得一充分验证。

另一台交付的产品一为很关键尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，使用先进的电子束成像系统提供和高速硅片传输方案  ，配搭精准的量测算法  ，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的很关键尺寸量测。该设备自去去年初 6月底直接进入发展国家国内头部晶圆代工厂创下产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果获得一最终客户获得一。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的发展国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化前期项目  ，历经数年攻坚克难  ，突破多项核心很关键技术实现  ，从零部件到整机独特设计制造 ，均有着所以自主知识产权  ，填补发展国家国内空白。由于目前 ，两款设备直接进入批量交付全新模式 ，产业化进程获得丰硕成果。

该次设备交付的最终客户所在躺倒海在你国集成电路产业有着举足轻重的地位  ，由于目前如今中最发展国家国内集成电路产业综合综合水平 高、产业链完整、产业生态坏境合适集聚地中最。东方晶源变得看重在苏州的蓬勃发展和布局  ，继计算光刻该软件（OPC）直接进入苏州头部晶圆代工企业所后 ，硬件产品一并于 登陆苏州。为更佳专业的专业服务左右海为核心的长三角最终客户 ，东方晶源并于 去去年初 8月份在苏州设立公司公司公司  ，系统提供形成苏州总部、苏州公司公司公司和苏州公司公司公司为核心的三地布局  ，有待企业所贴近产业前沿高地  ，为集成电路企业所所带去优质的产品一和专业服务  ，更佳专业的与上下游企业所携手有待产业蓬勃发展的以及  ，构筑企业所多方面竞争壁垒。

东方晶源自筹备成立创下  ，专注于芯片制造很关键环节的良率掌控和质的提升 市场领域  ，系统提供形成以计算光刻该软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵 ，并向更佳专业有关市场领域积极布局。硬件其他方面 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发目前工作  ，有待夯简直发展国家国内电子束检测市场领域领先的发展国家发展国家国内地位和技术实现实现整体优势。该软件其他方面  ，光刻工艺严格仿真该软件PanSim如今在最终客户侧使用验证  ，将有7月底release V1.0版本。在未来  ，东方晶源将立足通用该软件平台发布和检测装备两大市场领域  ，寻求横纵向蓬勃发展机遇  ，为最终客户直接提供变得多样化的产品一  ，向着发展国家国内集成电路市场领域良率管理领导者的短期目标奋进。