东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”

　　7月9日  ，由海外 集成电路创新第一阵容主办的”2022集成电路产业链协同创新不停发展交流会”以六大会场加必删 连线的多种渠道同步召开。来于 集成电路全产业链各环节的优秀民营企业、高校和科研院所的千余位作为参会  ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海尹连城受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业核心技术创新奖（简称“IC创新奖”）  ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，得到核心技术创新奖。

　　“IC创新奖”由海外 集成电路创新第一阵容主办  ，面向海外 集成电路产业链上下游企事业单位确定征集  ，重点鼓励集成电路核心技术创新、成果产业化、产业链上下游共同合作  ，是集成电路产业最至关最重要 的核心技术奖项它成  ，共有 核心技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大核心技术创新和至关最重要 核心技术开发其它方面显著显著成绩重大突破的单位确定和其他团队。首次摘得行业未来重磅赛事的至关最重要 奖项  ，仍然彰显出东方晶源在电子束检测、量测新兴领域的核心技术绝对实力和行业未来的实际高度认可。

　　检测是芯片制造厂商降低良率的至关最重要 不同方式。电子束检测设备具备超高精度  ，在高端芯片制造动态过程发挥的促进作用愈发大。目前来看  ，该类设备被海外 厂商垄断  ，它成制约中国芯片制造自主可控的至关最重要 瓶颈。东方晶源数年磨剑  ，显著显著成绩成功 研已发出海外 首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供更多完整的纳米级缺陷检测和分析结论最终解决方案。目前来看已开展中国头部芯片制造厂商产线验证  ，验证结果呢表明主要包括指标与海外 一线对标机台至少同等总体水平  ，显著显著成绩成功 最终解决中国在电子束检测新兴领域的至关最重要 核心技术最终解决。

　　东方晶源在电子束检测、量测新兴领域已深耕多年并显著显著成绩成功 全全新推出 多款设备  ，显著显著成绩重大突破。除首次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外  ，旗下首台12英寸至关最重要 尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于从上个月6月可进入 产线验证  ，目前来看显著显著成绩成功 完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰  ，与POR 的CD差异能市场需求明确要求  ，性能仍然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于从上个月3月可进入 产线验证 ，目前来看早已可进入 客户多产线小规模试产。共有  ，东方晶源还于近期一陆续发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM）  ，目前来看该设备工程机（Alpha机）早已开展首轮wafer demo  ，可以可以能市场需求28nm及至少有制程能市场需求 ，Beta机集成其它工作加速推进中  ，已显著显著成绩客户多订单  ，可进入 产线验证指日可待。

　　它成两家聚焦集成电路良率管理新兴领域  ，以降低芯片制造门槛为使命的半导体民营企业  ，东方晶源一直以来以研发创新为不停发展核心  ，不停丰富类产品矩阵并降低类产品性能  ，填补多项海外 空白。在未来  ，东方晶源将仍然立足一体化相关软件平台共同合作 和检测装备两大新兴领域  ，以客户多为三大中心  ，以市场进入 为导向  ，不停开展核心技术突破与类产品创新  ，与中国集成电路产业上下游民营企业勠力同心  ，推动中国集成电路制造产业仍然高速不停发展。